Self-Aligned Silicidation = salicide

silicide 金屬矽化物 降低接觸電阻

polyside 多晶矽化物 用來解決hot carrier造成元件衰退效應 ex: LDD(lightly-doped drain)

 

參考資料：

http://www.ndl.narl.org.tw/cht/ndlcomm/P5_3/14.htm

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